生产硅片采用的真空技术

硅片采用单晶或多晶硅锭制成。首先使用线锯将单晶或多晶硅锭切割成约160 µm的硅片。随后利用湿化法在清洁池中清洁硅片，再将其分离以备处理成电池。

施迈茨吸盘可用于硅片堆垛、减震、固定和定位各个工艺步骤，同时最大程度缩短循环时间，降低破损率。 

真空技术要求

高输出量
硅片生产要求循环时间小于一秒。由于加速度较高，因此吸盘必须施加较大的夹持力和剪切力。此外，光伏吸盘SWGm还具有检测功能，在搬运工件时可以利用选配的集成传感器执行测试任务。

破损率低
工艺破损率对输出数量影响很大。因此，必须尽可能轻柔地搬运硅片。与其他搬运技术相比，使用施迈茨光伏吸盘SWGm可以最大程度降低破损率。光伏吸盘SWGm接触面积大、真空度低，这意味着光伏吸盘SWGm只会对工件表面施加极小的压力，因而搬运过程特别轻柔。

无污染搬运
在整个生产链的各个流程中，应避免污染硅片表面。接触面采用无污染PEEK材料制成的光伏吸盘SWGm是无污染搬运的最佳解决方案。此外，采用无痕材料HT1制成的吸盘也可以用于生产硅片。

分离硅片
分离硅片对吸具技术的要求较高。悬浮式吸盘SBS可以产生很高的气流量，从而扩大接触距离将硅片分离。 光伏吸盘SWG内部可安装选配型悬浮式真空吸盘模块SBSm，这样既可以抓取硅片，也能够使硅片与悬浮式真空吸盘保持接触距离。 

在湿式清洗台应用中搬运晶片
光伏吸盘SWGm Wet特别适合搬运潮湿硅片。吸附点采用了特殊的定位方式及尺寸设计，可在工业蚀刻和清洁流程中直接安全移动潮湿硅片，无需使晶片干燥。