Wafer gripper SWGm for handling of wafers in the manufacturing process

生产硅片采用的真空技术

硅片采用单晶或多晶硅锭制成。首先使用线锯将单晶或多晶硅锭切割成约160 µm的硅片。随后利用湿化法在清洁池中清洁硅片,再将其分离以备处理成电池。

施迈茨吸盘可用于硅片堆垛、减震、固定和定位各个工艺步骤,同时最大程度缩短循环时间,降低破损率。 

真空技术要求

高输出量
硅片生产要求循环时间小于一秒。由于加速度较高,因此吸盘必须施加较大的夹持力和剪切力。此外,光伏吸盘SWGm还具有检测功能,在搬运工件时可以利用选配的集成传感器执行测试任务。

破损率低
工艺破损率对输出数量影响很大。因此,必须尽可能轻柔地搬运硅片。与其他搬运技术相比,使用施迈茨光伏吸盘SWGm可以最大程度降低破损率。光伏吸盘SWGm接触面积大、真空度低,这意味着光伏吸盘SWGm只会对工件表面施加极小的压力,因而搬运过程特别轻柔。

无污染搬运
在整个生产链的各个流程中,应避免污染硅片表面。接触面采用无污染PEEK材料制成的光伏吸盘SWGm是无污染搬运的最佳解决方案。此外,采用无痕材料HT1制成的吸盘也可以用于生产硅片。

分离硅片
分离硅片对吸具技术的要求较高。悬浮式吸盘SBS可以产生很高的气流量,从而扩大接触距离将硅片分离。 光伏吸盘SWG内部可安装选配型悬浮式真空吸盘模块SBSm,这样既可以抓取硅片,也能够使硅片与悬浮式真空吸盘保持接触距离。 

在湿式清洗台应用中搬运晶片
光伏吸盘SWGm Wet特别适合搬运潮湿硅片。吸附点采用了特殊的定位方式及尺寸设计,可在工业蚀刻和清洁流程中直接安全移动潮湿硅片,无需使晶片干燥。

联系方式

施迈茨(上海)真空科技有限公司
中国上海市浦东新区春泉路1号

邮编:201210

电话:+86 21 510999 33
传真:+86 21 503988 82
schmalz@schmalz.net.cn
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硅片生产流程所使用的关键产品

光伏吸盘 SWGm

  • 尺寸:125 mm x 125 mm 和 156 mm x 156 mm
  • 轴向或侧向排气基座可选
  • 吸盘材质: PEEK

悬浮式真空吸盘模块SBSm

  • 接触距离:最大12,3 mm
  • 夹持力:1,3 N

根据要求

悬浮式真空吸盘 SBS

  • 直径: 20至120 mm
  • 吸力2.0至104.0 N
  • 吸盘底部带橡胶缓冲垫

扁平吸盘SGPN

  • 直径:15至40毫米
  • 材料:FPM,HT1,NK,SI
  • 连接接头插入弹性体部件

波纹吸盘FG19

  • 直径:19 mm
  • 材料:HT1、NK、SI
  • 连接头插入
    弹性部件

根据要求

太阳能专用集成式真空发生器SCPi

  • 吸取能力高达145 l/min
  • 最大真空量51,5%
  • 集成节气功能和IO-Link

光伏吸盘 SWGm Wet

  • 尺寸:125 mm x 125 mm 和 156 mm x 156 mm
  • 基础版为侧向排气
  • 吸附面板材质:PEEK